990,5% hoogzuivere PSA-zuurstofgenerator voor halfgeleiderproductie

PSA-zuurstofgenerator(DrukschommelingsaadsorptiezuurstofgeneratorHet is een belangrijke schone apparatuur in de halfgeleiderindustrie.het bereikt een diepe zuivering door middel van dubbelschaal moleculaire zeven (gewone moleculaire zeven + moleculaire zeven van hoge zuiverheid) om zuurstof van hoge zuiverheid te produceren met een concentratie van meer dan 990,5%.

Het heeft essentiële voordelen zoals stabiele zuiverheid, hoge zuiverheid, betrouwbare werking en nul emissies van verontreinigende stoffen.die kan voldoen aan de strenge eisen voor zuurstofzuiverheid en -zuiverheid in processen zoals oxidatie en dunne filmdepositie tijdens de vervaardiging van halfgeleiders. Als de top-tier configuratie voorPsa zuurstofzuiverheid, worden de verontreinigingen (stikstof, vocht, kooldioxide, enz.) in de door deze apparatuur geproduceerde zuurstof onder de ppm-waarde gecontroleerd,het vermijden van een daling van de chipopbrengst als gevolg van onvoldoende zuurstofzuiverheidHet is een onmisbare essentiële zuurstofvoorziening voor de productie van halfgeleiders.

De productie van halfgeleiders vertegenwoordigt het hoogtepunt van de precisieproductie, waarbij chipprocessen de nanometerschaal (5nm, 3nm) hebben bereikt.verslechtering van de prestatiesZuurstof wordt hoofdzakelijk gebruikt in kernprocessen zoals oxidatie (het vormen van SiO2-isolatielagen) en chemische dampafzetting (CVD) in de halfgeleiderproductie.De zuiverheid van zuurstof beïnvloedt rechtstreeks de gelijkmatigheid van de isolatiegrootte, filmslijm en elektrische prestaties van de chip.

Gewone industriële zuurstof (93% zuiverheid) bevat onzuiverheden zoals stikstof en vocht die defecten kunnen vormen op het chipoppervlak, wat leidt tot een afname van de opbrengst met 10-20%; daarentegen bevat 99.5% hoogzuivere zuurstof kan het onzuiverheidsgehalte onder het ppm-niveau beheersen, waardoor de vorming van defecten effectief wordt voorkomen en ervoor wordt gezorgd dat de chipopbrengst stabiel blijft boven 90%.PSA-zuurstofgeneratorHet kan onzuiverheden zoals stikstof, vocht en kooldioxide uit de lucht verwijderen.Psa zuurstofzuiverheidDe controleprecisie is veel hoger dan die van traditionele zuurstofproductieapparatuur en voldoet volledig aan de procesvereisten van de halfgeleiderfabricage.

Bovendien hebben de halfgeleidersindustrie zeer hoge eisen aan zuurstofzuiverheid.5 μm per kubieke voet lucht). dePSA-zuurstofgeneratoris uitgerust met een hoogwaardig gasfiltratiesysteem dat kleine deeltjes zuurstof kan filteren, waardoor deeltjesverontreiniging op het chipoppervlak wordt vermeden en de chipkwaliteit verder wordt gewaarborgd.

Bij aankoopPSA-zuurstofgeneratorIn de eerste plaats moeten halfgeleiderbedrijven zich houden aan vier kernprincipes: "gekwalificeerde zuiverheid, compatibiliteit in een cleanroom, stabiliteit en betrouwbaarheid en volledige kwalificaties van leveranciers".

• Wat de zuiverheid betreft, is het noodzakelijk om apparatuur te kiezen met een zuurstofzuiverheid van ≥ 99,5% en een onzuiverheidsgehalte dat voldoet aan de vereisten van het halfgeleiderproces.en vereisen dat leveranciers testrapporten van derden verstrekken (zoals SGS, ITS)
• Wat betreft de compatibiliteit met een cleanroom moet worden bevestigd dat de uitgangsgaszuiverheid van de apparatuur ≥Klasse 100 is en dat de behuizing van de apparatuur voldoet aan de installatievereisten van een cleanroom.
• Wat de stabiliteit en betrouwbaarheid betreft, moet voorrang worden gegeven aan producten met een continue bedrijfsduur van ≥ 8.000 uur/jaar en een garantie voor kernonderdelen van ≥ 3 jaar.
• De kwalificaties van de leveranciers zijn van cruciaal belang.PSA-oxygeninstallatieproductie-kwalificaties, ISO9001 kwaliteitsmanagementsysteemcertificering en relevante certificeringen in de halfgeleiderindustrie (zoals SEMI-certificering),En ze moeten succesvolle gevallen voorleggen in de halfgeleiderindustrie.

De naverkoopservice moet voldoen aan de hoge eisen van de halfgeleiderindustrie.en een snelle levering van reserveonderdelen om de lange termijn stabiele werking van de apparatuur te garanderen.

Met zijn 99,5% hoog zuiverheidsvoordeel, is dePSA-zuurstofgeneratorDe precieze zuiverheidscontrole, de zuivere gasproductie, de hoge kwaliteit van het zuurstof dat wordt gebruikt voor de productie van halfgeleiders en de hoge kwaliteit van het zuurstof dat wordt gebruikt voor de productie van elektrische apparaten, zijn de basis voor de productie van zuivere zuurstof.en stabiele bedrijfsprestaties kunnen betrouwbare zuurstofvoorziening ondersteunen voor halfgeleiderprocessen, waardoor het een belangrijke uitrusting is voor chipfabrikanten om de opbrengst te verbeteren en de kosten te verlagen.